實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)

簡要描述：實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)的特點(diǎn)，尤其適用于實(shí)驗(yàn)室高校使用，客戶可根據(jù)自身不同需求選配。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-02-11
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產(chǎn)品介紹：

　　實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)采用磁控濺射及陰極電弧相結(jié)合的鍍膜技術(shù)，既滿足了對膜層致密性要求，又滿足了高離化率的要求；立式結(jié)構(gòu)，工件卷繞系統(tǒng)垂直安裝在真空室內(nèi)；多室門設(shè)計(jì)，陰極安裝在側(cè)門上，可裝六套陰極源或離子源，開門即可對靶進(jìn)行維護(hù)或更換；設(shè)備可一次性進(jìn)行工件表面處理及鍍制多層膜，實(shí)現(xiàn)多層膜沉積。適用多種金屬或化合物鍍膜材料。

　　實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)的特點(diǎn)，尤其適用于實(shí)驗(yàn)室高校使用，客戶可根據(jù)自身不同需求選配。

實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)：

制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
最大功率	≤1200W
最大輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （最大可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展	機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）